SJ5100高精度光柵測(cè)長(zhǎng)機(jī)采用進(jìn)口高精度光柵測(cè)量系統(tǒng)、高精密研磨直線導(dǎo)軌、高精度溫度補(bǔ)償系統(tǒng)、雙向恒測(cè)力系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)各種長(zhǎng)度參數(shù)的高精度測(cè)量。在半導(dǎo)體制造行業(yè)中，可以用來(lái)測(cè)量芯片線寬和間距等微小尺寸參數(shù)。整個(gè)測(cè)量過(guò)程不超過(guò)3分鐘，結(jié)束后自動(dòng)生成結(jié)果及記錄報(bào)表。

SJ5100高精度光柵測(cè)長(zhǎng)機(jī)既可以檢定螺紋/光面量規(guī)、量塊、外徑千分尺、針規(guī)、指示表等各種量具又可以測(cè)量齒輪、花鍵、校對(duì)棒等精密工件。測(cè)長(zhǎng)機(jī)廣泛應(yīng)用于機(jī)械制造業(yè)、工具、量具制造業(yè)及儀器儀表制造業(yè)等企業(yè)的計(jì)量室和各級(jí)計(jì)量鑒定部門。

儀器主要功能

1、標(biāo)配功能：

檢測(cè)量塊&塊規(guī)：（0.1~300mm）；

光滑環(huán)規(guī)：φ5~φ200mm（壁厚≤50 mm，高度≤50mm）、光滑塞規(guī)：φ1~φ220mm；

螺紋環(huán)規(guī)：M5~M200（螺距0.8~4mm）

螺紋塞規(guī)：M1~M220（螺距0.25~5.5mm）；

光滑卡規(guī)：內(nèi)卡5~200mm，外卡1~300mm

千分尺校對(duì)桿：25~300mm；

塞尺：0.02~1mm

針規(guī)：φ0.1~φ10mm

三針：0.118~6.585mm；

兩點(diǎn)內(nèi)徑千分尺：25~300mm；

2、可選配功能：

小型光滑環(huán)規(guī)：φ0.8~φ5mm；

螺紋環(huán)規(guī)：規(guī)格M3~M4（螺距0.5~0.7mm）；

光滑錐度環(huán)規(guī)：φ5~φ200mm（厚度≤50mm）；

光滑錐度塞規(guī)：φ5~φ60mm（長(zhǎng)度10~100mm）；φ60~φ200mm（長(zhǎng)度≤50mm）；

螺紋錐度環(huán)規(guī)：M5~M200mm（厚度≤50mm）；

螺紋錐度塞規(guī)：M5~M60mm（長(zhǎng)度10~100mm）；M60~M200mm（長(zhǎng)度≤50mm）；

鋸齒螺紋、梯形螺紋：M3~M400（螺距0.5~6mm）；

花鍵環(huán)塞規(guī)/花鍵及標(biāo)準(zhǔn)齒輪（跨棒距測(cè)量）：內(nèi)φ10~φ200mm，外φ5~φ200mm，模數(shù)0.8~6mm；

外徑千分尺示值誤差手動(dòng)校準(zhǔn)：25~300mm；

數(shù)顯及游標(biāo)卡尺示值誤差手動(dòng)校準(zhǔn)：75~300mm；

深度千分尺示值誤差手動(dòng)校準(zhǔn)：0~25、25~50、50~75mm；

三爪內(nèi)徑千分尺手動(dòng)校準(zhǔn)：φ6~φ200mm；

表類（百分表、千分表、杠桿表手動(dòng)校準(zhǔn)）；

數(shù)顯半徑規(guī)手動(dòng)校準(zhǔn)：R5~R700mm；

軸承內(nèi)外圈錐度、溝槽底徑內(nèi)外徑及溝槽寬度、精密零部件的長(zhǎng)度尺寸，內(nèi)外徑尺寸測(cè)量；

SJ5100高精度光柵測(cè)長(zhǎng)機(jī)廣泛應(yīng)用于機(jī)械制造業(yè)、工具、量具制造業(yè)及儀器儀表制造業(yè)等企業(yè)的計(jì)量室和各級(jí)計(jì)量鑒定部門。

應(yīng)用案例如：

機(jī)械制造：在機(jī)械制造過(guò)程中，可以用來(lái)測(cè)量各種零件的尺寸和形狀，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和精度。

半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體制造行業(yè)中，可以用來(lái)測(cè)量芯片線寬和間距等微小尺寸參數(shù)。

光學(xué)加工：在光學(xué)加工領(lǐng)域中，可以用來(lái)測(cè)量光學(xué)元件的表面形貌和厚度等參數(shù)。

航空航天：在航空航天領(lǐng)域中，可以用來(lái)測(cè)量航空器的外形和尺寸，以及檢測(cè)零部件之間的配合精度。

主要技術(shù)指標(biāo)

環(huán)境條件

參考校準(zhǔn)/使用環(huán)境溫濕度：

溫度：20±2℃，波動(dòng)不超過(guò)0.5℃/小時(shí)

相對(duì)濕度：10~70%。

振動(dòng)：按照三坐標(biāo)振動(dòng)要求標(biāo)準(zhǔn)，振動(dòng)速度均方根≤5um/s，振動(dòng)頻率8~100Hz；

校準(zhǔn)室內(nèi)應(yīng)無(wú)影響測(cè)量的灰塵、震動(dòng)、噪音、氣流、腐蝕性氣體和較強(qiáng)磁場(chǎng)。

懇請(qǐng)注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請(qǐng)諒解。

如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息，請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。