中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀檢測儀器由光學(xué)照明系統(tǒng)、光學(xué)成像系統(tǒng)、垂直掃描控制系統(tǒng)、信號(hào)處理系統(tǒng)、應(yīng)用軟件構(gòu)成。以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，非接觸測量樣品表面形貌，主要用于表面形貌紋理，微觀結(jié)構(gòu)分析，用于測試各類表面并自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等領(lǐng)域。
性能特點(diǎn)
1、輪廓/粗糙度測量功能：
高到亞納米級(jí)的高度分辨率，在寬度、高度、角度、直徑等各類輪廓尺寸測量功能以及表征表面整體加工質(zhì)量的粗糙度等指標(biāo)；
2、自動(dòng)化測量功能：
自動(dòng)單區(qū)域測量/自動(dòng)多區(qū)域測量/自動(dòng)拼接測量；
3、復(fù)合型掃描算法：
集合了PSI高精度&VSI大范圍雙重優(yōu)點(diǎn)的EPSI掃描算法，有效覆蓋從超光滑到粗糙等所有類型樣品，無須切換，操作便捷；
4、雙重防撞保護(hù)功能：
Z軸上裝有防撞機(jī)械電子傳感器、軟件ZSTOP防撞保護(hù)功能，雙重保護(hù)，多一重安心；
5、環(huán)境噪聲檢測功能：
環(huán)境噪聲評(píng)價(jià)功能能夠定量檢測儀器當(dāng)前所處環(huán)境的綜合噪聲數(shù)值，對(duì)儀器的調(diào)試、測試可靠性提供指導(dǎo)；
6、完善的售后服務(wù)體系：
設(shè)備故障遠(yuǎn)程&現(xiàn)場解決，軟件免費(fèi)升級(jí)。
SuperViewW1白光干涉儀檢測儀器對(duì)高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而準(zhǔn)確的得到理想的測量結(jié)果。其重建算法自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達(dá)0.1nm。
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