大型液晶玻璃基板搬運(yùn)機(jī)器人 負(fù)載：50KG 動(dòng)態(tài)范圍：1675mm 控制柜：DX100 用途：搬運(yùn)、潔凈室
*1：依據(jù)JIS B8432標(biāo)準(zhǔn) *2：潔凈度依據(jù)ISO-14644標(biāo)準(zhǔn)。在0.4m/s以上的向下流風(fēng)速環(huán)境下，來(lái)確保工件搬運(yùn)面以上潔凈度。 *3：根據(jù)用途、作業(yè)形式會(huì)有所不同。
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