安川機器人SEMISTAR-MR124適用于晶元搬運SEMISTAR-M系列升級版,引領(lǐng)業(yè)界的高性能!供應(yīng)EFEM模塊全套設(shè)備。300枚/小時的高速搬運。
半導(dǎo)體晶片搬運用機器人
負載:-
動態(tài)范圍:1215mm
控制柜:SR100
用途:搬運、半導(dǎo)體


大動作范圍:EFEM模塊移動距離可達4套應(yīng)用設(shè)備,無需使用底架,極大地提高了搬運效率。
高速搬運:300枚/小時
適用:300mm-450mm晶片搬運
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