64-2800 系列高純度束縛閥膜減壓型調(diào)壓器采用不銹鋼制造，提供 10 Ra 微英寸/0.25 微米的表面光潔度，并經(jīng)過電子級清潔。 進口壓力為 1000 或 3500 psig / 69.0 或 241 bar，出口壓力可高達 150 psig / 10.3 bar。 非常適合用于 1/4" 使用點、氣柜、特種氣體調(diào)節(jié)、晶體生長以及擴散爐應(yīng)用。