NT系列的所有功能都被運(yùn)用到TT系列，包括訪問多達(dá)四個(gè)FOUP的能力。TT系列的設(shè)計(jì)采用了NT系列水平多關(guān)節(jié)型手臂帶有高剛性伸縮基座的設(shè)計(jì)，提供高低位置的高速搬運(yùn)。
無塵機(jī)器人外設(shè):
卓越的伸展距離單個(gè)的TT系列手臂可以伸展到四個(gè)FOUP。伸縮手臂提供了附加的靈活性，可以伸展到FOUP并在高低位置處理設(shè)備。高吞吐量TT系列機(jī)器人利用NT系統(tǒng)手臂的帶有雙重抓手的高速設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了高吞吐量。SEMI F47合規(guī)TT型號可以瞬時(shí)響應(yīng)電波動(dòng)，如電壓下降，并且在電壓恢復(fù)時(shí)自動(dòng)恢復(fù)運(yùn)行。SEMI S2合規(guī)TT型號可以滿足對環(huán)境和人身安全的特殊考慮。碰撞檢測軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測功能，以減少碰撞所造成精密、專用設(shè)備的損壞。
TT系列機(jī)器人規(guī)格
| 型號 |
TT220 |
| 構(gòu)造 |
伸縮水平多關(guān)節(jié)型 |
| 自由度 |
5 軸 |
| 運(yùn)動(dòng)范圍 |
θ 軸 (旋轉(zhuǎn)JT2) |
340° |
| Z 軸 (上下JT3) |
740 mm |
| θ 軸 (旋轉(zhuǎn)JT4) |
340° |
| H1 軸 (旋轉(zhuǎn)JT6) |
340° (380°)*2 |
| H2 軸 (旋轉(zhuǎn)JT7) |
340° (380°)*2 |
| *大伸展距離 |
1,230 mm |
| 重復(fù)性 |
±0.1 mm （晶圓中心） |
| 無塵度*1 |
ISO 1級 |
| 控制柜 |
D60/D61 (規(guī)格見無塵控制柜) |
*1: 于川崎的無塵間內(nèi)測得
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