1 工作原理 　　MPX2100有4個引腳,1腳接地,3腳加工作壓力,2腳和4腳之間輸出與壓力成正比的差模電壓信號。 　　MPX2100是一種壓阻式壓力傳感器,在硅基片上用擴散工藝制成4個電阻阻值相等的應變元件構成惠斯頓電橋。電橋有恒壓源供電和恒流源供電兩種供電方式。采用恒壓源供電的原理圖如圖1所示。 　　當壓力傳感器受到壓力作用時,一對橋臂的電阻值增大ΔR,另一對橋臂的電阻值減少ΔR,電阻變化量ΔR與壓力成正比,即ΔR=KP,電橋輸出電壓Uo=EΔR/R=EK/RP,即電橋輸出電壓與壓力P成正比。 　　2 基于MPX2100的數(shù)字壓力計 　　MPX2100構成的數(shù)字壓力計如圖2所示。MPX2100的工作電壓為12V,傳感器4腳和2腳之間輸出的壓力信號送到IC1、IC2進行放大,放大器的增益為140/RP1,IC1、IC2接成同相輸入阻態(tài),可以獲得儀器放大器所需的高輸入阻抗IC3是一個單位增益的差動放大器,通過它可以獲得較高的CMRR,IC4和RP2分壓電路構成調(diào)零電路,RP1用來調(diào)節(jié)放大器電路的增益,以完成滿量程壓力時的顯示數(shù)字校準。IC3輸出的電壓加在A/D轉(zhuǎn)換器IC5的模擬電壓輸入端31腳,并由IC5轉(zhuǎn)換成數(shù)字量以驅(qū)動LED顯示器顯示壓力的大小。 　　3 電壓頻率變換電路 　　圖3所示是由MPX2100構成的電壓頻率變換電路。該電路由放大和電壓頻率變換兩部分組成,并由一個4運放和一些電阻組成放大電路,它具有高差模增益和高共模抑制比,而且輸入阻抗高,可以調(diào)整電路的偏置。電路的差模放大主要由A1完成,A2用來防止運放的反饋電路流入傳感器的負端。在零壓力時,傳感器的2腳和4腳之間的電壓之差為零。如果2腳和4腳的共模電壓各為4V傳感器電源電壓的一半,則A1的1腳電壓也是4V,這樣,該電壓經(jīng)A3和A4路即可使其輸出為零壓力電壓。輸出端的零壓力偏置由R4和R12引入,調(diào)節(jié)R12可以設置偏置電壓。通過R7可選擇從13腳看過去的阻抗,通常為1kΩ。放大器增益AV=R51R11/R10/R6=125。選擇增益為125可使傳感器的滿量程輸出擺幅在32mV時放大到4V的擺幅。 　　A3輸出端輸出的0.5～4.5V的電壓經(jīng)V/F變換后可輸出1～10kHz的頻率。A3的8腳與AD654V/F變換器相連。其滿量程輸出頻率由R3、R13和C3決定,并可根據(jù)下式來計算： 　　Fout滿量程=Vin/10R3R15C3 　　為了獲得最好的性能,R3和R13的選擇應使AD654的3腳在滿量程時有1mA的驅(qū)動電流。AD654的輸入級是一個運放,因此它的3腳和4腳電壓相等虛短,這樣在滿量程時,3腳的電壓為4.5V,R3R13約為4.5kΩ,因此,流過R3和R13的電流為4.5V/4.5k=1mA。也就是說,R3R13一旦給定,C3將決定V/F的滿量程輸出頻率。微調(diào)R13可實現(xiàn)滿量程頻率的調(diào)整。零壓力頻率的調(diào)整可通過調(diào)節(jié)R12來實現(xiàn)。頻率輸出的邊沿跳變速度可通過一個小信號FET反相器來提高BS107A,該電路的最后輸出與微控制器的計數(shù)器輸入兼容。 　　MPX2100半導體壓力傳感器可為壓力探測提供一種性價比高的可靠方法,因此,它將在諸多領域得到廣泛的應用。